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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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哪些領(lǐng)域可以應(yīng)用-CRF小型等離子清洗器

        CRF小型等離子清洗器!設(shè)備的特點(diǎn)及各加工行業(yè)的應(yīng)用越來越廣泛,尤其是科研領(lǐng)域具有獨(dú)特功能:等離子清洗、蝕刻、等離子電鍍、等離子噴涂、等離子灰化和表層改性等在電鏡等方面的特殊應(yīng)用,并論述了等離子清洗蝕刻機(jī)的特殊性及其在現(xiàn)代科學(xué)研究中不可替代性。小型等離子清洗器呈現(xiàn)的等離子體是由氣體分子在真空、放電等特殊條件下呈現(xiàn)的特有現(xiàn)象。一般等離子包括電子,離子,自由基和質(zhì)子。正如勢能需要將固體變?yōu)闅怏w,而制造離子體也需要?jiǎng)菽埽x子可以與電磁反應(yīng)傳導(dǎo)。

小型等離子清洗器

       小型等離子清洗器在密閉溶器內(nèi)安裝2個(gè)電極片以產(chǎn)生電場線,滿足相應(yīng)的真空度,并且隨著氣體越來越稀薄,分子間隔和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離越來越遠(yuǎn),在電場線的作用下,碰撞產(chǎn)生等離子體,呈現(xiàn)輝光放電。在輝光放電過程中,氣壓、放電功率、氣體組分、流速、物料類型等因素對(duì)材質(zhì)的腐蝕(效)果有重要影響。因?yàn)榈入x子體輝光放電是由真空紫外光,對(duì)蝕刻率有積極影響,氣體中含有中性微粒、離子和電子。中性顆粒與溫度、電子能量對(duì)應(yīng)的溫度較高,稱為非平衡等離子體和冷等離子體,主要表現(xiàn)出電中性(準(zhǔn)中性)氣體所呈現(xiàn)的高自由基和離子活性,其勢能足以破壞所有化學(xué)鍵,在物質(zhì)的表層上都會(huì)呈現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)。通常情況下等離子體中微粒的勢能為數(shù)十電子伏特,與高聚物材質(zhì)的組合鍵(數(shù)十電子伏特)相比,能夠破壞有(機(jī))大分子的化學(xué)鍵,但遠(yuǎn)低于高能放射線鍵,不影響基體的性能。粘結(jié)劑在電鍍、粘接、焊接操作過程中,常因殘余物而減弱,這些殘余可通過等離子體選擇性地去除。與此同時(shí)氧化層對(duì)鍵合質(zhì)量也有危害,需要等離子清洗,提高焊接穩(wěn)定性。
       在小型等離子清洗器蝕刻過程中,通過高能氣體,蝕刻物會(huì)變成氣相。被處理過的氣體和基體材質(zhì)從真空泵中抽出,并被處理過的氣體連續(xù)覆蓋。不被蝕刻的部分重新覆蓋材質(zhì)(如半導(dǎo)體工業(yè)用鉻膜覆蓋材質(zhì))。CRF小型等離子清洗器也被應(yīng)用在蝕刻塑料表層,使其充滿氧,同時(shí)分析其分布。在塑料印刷和粘接過程中,蝕刻技術(shù)作為預(yù)處理的重要手段,如等離子處理可大大提高粘接濕面積。使用活性堿金屬可提高粘接能力,但這種方法不容易掌握,而且溶液毒性大。采用等離子體技術(shù),不僅能保護(hù)環(huán)境,而且(效)果更好。等離子體結(jié)構(gòu)可以較好的處理物體表層,同時(shí)在表層產(chǎn)生活性層,進(jìn)行塑料粘結(jié)和印刷。

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