真空等離子清洗機在不銹鋼腔體內利用真空泵抽走多余氣體，不但效果全面，而且工藝可控。它所選擇的氣體方面存在差異，真空腔內對各種復雜工藝對其進行精確控制。通常有多種氣體可供選擇。常用的有氫，氧，氬等。每種氣體的性質不同，所能達到的效果也不同。混合氣體經常被在使用。某種程度，真空腔和電極板是除理物品的運作區域劃分，在使用某種時段后，腔內會殘留一些污垢，附著在電極板和腔壁上。

真空等離子清洗機的具體維護:
1.自檢真空泵油位和油的純度，每月自檢真空泵油位和油的純度，觀察油位窗口。當油位接近最低紅線刻度時，添加到油紅標線上下之間；觀察油的顏色。正常油干凈透明。當油渾濁(油顏色變灰或油位窗口模糊)，真空泵噪音異常時，及時更換真空體油。
2.真空等離子體清洗機清洗反應室。先用脫脂棉布沾上無水乙醇(俗稱酒精)擦拭真空腔(不要用乙醇擦拭反應腔觀察玻璃)。第二腔導入氣體(氬+氧或氮+氧)，用等離子反應清除腔內殘留物。每月至少除理一次，除理時段約為10分鐘。
3.真空等離子清洗機要查塑料管子的完好性和真空體密封性，自檢設備的完好性。完全清潔反應室后，應避免污染物泄漏到空腔中。自檢反應室門的密封條是否松動。查每條輸氣管路是否連接緊固，是否老化。
4.查電源的真空等離子清洗機，電壓是否與設備匹配。