真空等離子清洗機(jī)通過兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或自由運(yùn)動(dòng)距離也越來越長，受磁場(chǎng)作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時(shí)會(huì)發(fā)生輝光，等離子體在電磁場(chǎng)內(nèi)空間運(yùn)動(dòng)，并轟擊被處理物體表面，達(dá)到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有(機(jī))物，以及其它化學(xué)物質(zhì)，從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕效(果)，經(jīng)過等離子處理工藝可以實(shí)現(xiàn)有選擇的表面改性。

      等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。從通常的能量排布：氣體>液體>固體的角度來說，等離子的能量比氣體更高，能表現(xiàn)出一般氣體所不具有的特性，所以也被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。當(dāng)氣體電離生成電子正離子一般在段時(shí)間內(nèi)發(fā)生結(jié)合，回到中性分子狀態(tài)，這個(gè)過程產(chǎn)生的電子、離子的一部分能量以電磁波等不同形式消耗，在分子離解時(shí)常生成自由基，生成的電子結(jié)合中性原子，分子形成負(fù)離子。因此，整個(gè)等離子體是電子正負(fù)離子激發(fā)態(tài)原子，原子以及自由基的混合狀態(tài)。因?yàn)楦鞣N化學(xué)反應(yīng)都是在高激發(fā)態(tài)下進(jìn)行的，與經(jīng)典的化學(xué)反應(yīng)完(全)不同。這樣使等離子體的原子或分子的本性通常都發(fā)生改變，即使是較穩(wěn)定的惰性氣體也會(huì)變得具有很強(qiáng)的化學(xué)活潑性。
      真空等離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機(jī)械等幾個(gè)部分組成，可以根據(jù)客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統(tǒng)，真空室。容易采用數(shù)控技術(shù)，自動(dòng)化程度高；具有高精度的控制裝置，時(shí)間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。